江苏省硅基电子材料重点实验室
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球差校正透射电子显微镜

      该设备采用球差校正技术,通过磁透镜组消除球面像差,实现亚埃级(约0.07纳米)分辨率,适用于纳米材料半导体新能源材料等领域的微观结构表征 。

       应用领域:

  • 材料科学:分析金属合金催化剂二维材料的原子结构 。 ‌
  • 半导体:检测芯片纳米节点的晶体缺陷 。
  • 新能源:研究锂离子电池电极材料的晶格变化 。
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